真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。
按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。
1、真空泵的蒸汽允许量，
蒸汽的允许量单位是kg/h，它是指泵在畸型标淮标淮下，气镇泵在相继作业时能抽除的蒸汽品质流量。
2、真空泵抽真空效率，
泵的抽真空速率单位是m3/s或l/s,泵装有标准实验罩并按照规定标淮工作时，从实验罩流过的气体压力与在实验验罩上指定位置侧得的平衡工作压力之比，简称真空泵抽速，单位为m3/a或L/s.
3、真空泵抽气量，
流过泵入口的气体流里.单位为Pa.m3/s或Pa.L/s,
4、真空泵极限工作压力，
泵装有标准实验罩并按照规定标淮工作时，在不引入气体正常工作的情形下，趋向稳定的最低工作压力，在不引入气体畸型作业的情况下，趋势稳固的 工业气压强，压强单位是Pa ，
5、真空泵启动工作压力，
真空泵无损坏启动并有抽真空作用时的工作压力，Pa，
6、真空泵前级工作压力，
排气工作压力低于一个大气压力的真空泵的出口工作压力.单位为Pa，
7、真空泵最大前级工作压力，
.超过此值泵将不能正常工作的工作压力称最大前级工作压力，单位为Pa，
8、真空泵最大工作压力，
对应最大抽真空且的入口工作压力.此工作压力下泵能连续工作而不恶化或损坏，
9、真空泵压缩比，
真空泵对给定气体的出口工作压力与入口工作压力之比，
10、真空泵的返流率，
泵的返流率单位是g/cm2.s。它是指泵按规程标淮作业时，经过泵出口单位面积的泵流品质流率，
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